Chemnitz. Elektrofahrzeuge und erneuerbare Energiequellen sind Haupttreiber für die Dynamik des Halbleitermarkts. Damit wächst die Nachfrage nach Leistungshalbleitern wie Siliziumkarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN). Dafür entwickeln das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS und die VX Instruments GmbH ein zukunftsweisendes Testsystem.
Dank präziser, paralleler Funktionstests auf Waferebene können hochfunktionsfähige sowie äußerst robuste und stabile Bauelemente für leistungselektronische Anwendungen realisiert sowie Testzeiten und -kosten gesenkt werden. Die Kombination aus komplexen Testprozessen und Künstlicher Intelligenz wird die Effizienz der Halbleiterfertigung in Zukunft zusätzlich deutlich erhöhen.
Halbleiterbauelemente auf Basis von SiC und GaN sind aufgrund ihrer besonderen physikalischen und elektrischen Eigenschaften ideal für anspruchsvolle Leistungsanwendungen geeignet. Ihre hohe thermische Stabilität, ihre ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, ihr hoher Wirkungsgrad bei großen Leistungsdichten, ihre Widerstandsfähigkeit bei hohen Spannungen und ihre lange Lebensdauer machen sie besonders attraktiv für die Leistungselektronik sowie den Einsatz in der Elektromobilität und der modernen Energieversorgung.
Das Chemnitzer Fraunhofer ENAS und die VX Instruments GmbH entwickeln im Rahmen ihrer Zusammenarbeit im European Test and Reliability Center (ETRC), Europas neuem Kompetenzzentrum für Tests und Zuverlässigkeitsbewertungen von Halbleiterbauelementen, mit ihrem innovativen Testsystem eine neuartige Testlösung für SiC- und GaN-basierte Leistungshalbleiter. Die entstehende Prüftechnologie erlaubt das hochpräzise und parallele Testen von Halbleiterbauelementen, was die Qualität deutlich verbessert, die Testzeit verkürzt und den Testdurchsatz erhöht.
Das European Test and Reliability Center (ETRC) am Fraunhofer ENAS ist ein europaweit einzigartiges Kompetenzzentrum für Tests und Zuverlässigkeitsbewertungen zukünftiger Halbleiterinnovationen. Mit seiner hochmodernen Prüfinfrastruktur und tiefgehenden Expertise sowie einem starken Netzwerk aus Industrie und Wissenschaft bietet das ETRC umfassende Lösungen zur Bewertung von Qualität, Funktionalität und Langlebigkeit wegweisender Mikrotechnologien. Das Leistungsportfolio des ETRC beinhaltet sowohl die Erforschung und Entwicklung neuer Test- und Bewertungsmethoden als auch deren Optimierung für spezifische Anwendungen. Darüber hinaus bietet das ETRC umfangreiche Dienstleistungen für die Verifikation von Kleinstserien sowie praxisnahe Beratungen für Unternehmen. Die VX Instruments GmbH (VXI) ist ein Technologieunternehmen mit Sitz im bayerischen Landshut, das 1989 von Johann Degenhart als »Ingenieurbüro Johann Degenhart« gegründet wurde. Seither hat sich VXI zu einem anerkannten Spezialisten für hochpräzise Halbleiter-Testsysteme und elektronische Messinstrumente entwickelt.
